17:30 〜 17:45 [20p-S611-16] 新規アルミニウム材料を用いたスプレー塗布法による酸化アルミニウム薄膜の作製とそのパッシベーション特性 〇稲葉 孝一郎1、豊田 浩司1、中 俊雄1、宮島 晋介2 (1.東ソー・ファインケム、2.東工大院理工)