16:00 〜 16:15 △ [21p-H111-13] 酸素ラジカルを用いて作製したTiO2-δスパッタ薄膜の局所構造とI-V特性 〇(M1)川村 欣也1、樋口 透1、鈴木 直哉1、土屋 敬志1、小林 正起2、組頭 広志2、寺部 一弥3 (1.東理大理、2.高エネ研、3.物材機構)