13:30 〜 13:45 [20p-H137-2] 金属内包シリコンナノクラスター薄膜の創成とその化学的安定性 〇中嶋 敦1,2,3、渋田 昌弘2、中谷 真人1,3、太田 努1、角山 寛規1,3、江口 豊明1,3 (1.慶大理工、2.慶應義塾KiPAS、3.JST-ERATO)