16:45 〜 17:00 △ [21p-H121-13] AlGaN成長用表面窒化α-(AlGa)2O3基板の極微構造評価と熱的安定性評価 〇武馬 輝1、増田 直1、荒木 努1、名西 憓之1、織田 真也2、人羅 俊実2 (1.立命館大、2.FLOSFIA)