14:45 〜 15:00 [20p-H113-3] 炭素クラスターイオン注入Siエピウェーハの特徴(3)-酸素に対する捕獲効果- 〇奥田 秀彦1、廣瀬 諒1、柾田 亜由美1、門野 武1、奥山 亮輔1、古賀 祥泰1、栗田 一成1 (1.SUMCO)