16:00 〜 18:00 [19p-P12-8] オゾンを用いたβ-Ga2O3のMBE成長 〇中田 義昭1、佐々木 公平2、倉又 朗人2、山腰 茂伸2、東脇 正高1 (1.情通機構、2.タムラ製作所)
16:00 〜 18:00 [19p-P12-9] β-Ga2O3(010)基板上へのGa照射 〇中田 義昭1、佐々木 公平2、倉又 朗人2、山腰 茂伸2、東脇 正高1 (1.情通機構、2.タムラ製作所)