14:15 〜 14:30 △ [22p-S222-8] 溶液法で作製したアモルファスIGZO薄膜の伝達特性に与えるイオン注入とアニールの効果 〇(M2)陳 東京1、森本 貴明1、福田 伸子2、大木 義路1,3 (1.早大先進理工、2.産総研FLEC、3.早大材研)