10:45 〜 11:00 △ [20a-S222-7] プラズマ発光制御を用いた反応性スパッタ法によるITOおよびIZO透明導電膜の成膜 〇宮崎 裕介1、丸山 恵莉1、賈 軍軍1、待永 広宣2、宮崎 司2、重里 有三1 (1.青学大理工、2.日東電工)