16:00 〜 18:00 [21p-P17-12] Si/Cu同時研削と無電解SnめっきとSiアルカリエッチングを用いたSi貫通電極露出工程 〇渡辺 直也1、青柳 昌宏1、坂東 翼2、三井 貴彦2、山本 栄一2 (1.産業技術総合研究所、2.岡本工作機械製作所)