13:30 〜 13:45 [19p-H113-2] TOF-SIMSによる耐熱鋼中の微量元素分布の観測 〇渡邉 騎通1、間宮 広明1、阿部 富士雄2、大久保 雅隆3、北澤 英明1 (1.物材機構 量子ビーム、2.物材機構 材料信頼性、3.産総研 エレクトロニクス・製造領域)