18:45 〜 19:00 [21p-W641-19] 振動発電応用に向けたBiFeO3厚膜の作製 〇荒牧 正明1、苅谷 健人1、吉村 武1、村上 修一2、藤村 紀文1 (1.阪府院工、2.阪府産技研)