09:15 〜 09:30 △ [22a-H121-3] その場観察技術を用いたMOVPE法で作製するAlGaN/GaNヘテロ構造の観察 〇大角 純也1、金山 亮介1、髙西 徹1、岩谷 素顕1、竹内 哲也1、上山 智1、赤﨑 勇1,2 (1.名城大・理工、2.名古屋大・赤﨑記念研究センター)