13:30 〜 15:30 [21p-P10-5] 界面顕微光応答法を用いたイオン注入n-SiCショットキー接触の2次元評価 〇村瀬 真悟1、三島 友義2、中村 徹2、塩島 謙次1 (1.福井大院工、2.法政大)