13:30 〜 15:30 [19p-P3-1] HfO2/GeO2/Geスタック構造におけるゲルマニウムと酸素の熱拡散に関する研究 〇小川 慎吾1,2、淺原 亮平2、箕浦 佑也2、迫 秀樹1、川崎 直彦1、山田 一子1、宮本 隆志1、細井 卓治2、志村 考功2、渡部 平司2 (1.TRC、2.阪大院工)