16:00 〜 16:15 [20p-W834-9] シリコンディープエッチングを用いた光・電気変換器への光ファイバセルフアラインメント手法の検討 〇寺井 弘高1、三木 茂人1、山下 太郎1、宮嶋 茂之1 (1.情通機構)