11:15 〜 11:30 [21a-S222-9] HVPE法によるIn2O3成長の検討 〇沼田 至優1、富樫 理恵1、後藤 健2、村上 尚1、倉又 朗人2、山腰 茂伸2、熊谷 義直1 (1.東京農工大院工、2.タムラ製作所)