出展者情報

[Pa-20] 神津精機(株)

■高精度形状測定システムDyvoce（ダイボス）～半導体ウエハの反り・膜厚をはじめとする形状を簡単・高精度測定～非接触型の形状測定システム（ダイボス）は生成した2D/3DモデルからSEMI規格のSORI・BOW・GBIR等の各種規格値の自動算出が可能です。