[19a-S622-1~13] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[19a-S622-10] Sbをイオン注入したSi赤外発光素子の開発

〇唐澤 賢志¹、川添 忠²、大津 元一³ (1.セイコーインスツル、2.NPOナノフォト、3.東大院工)

キーワード：ドレスト光子、発光ダイオード、シリコン