[19a-W321-1~12] 16.3 シリコン系太陽電池

[19a-W321-1] レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡による太陽電池のPID評価Ⅱ

〇北村 藤和¹、松尾 清隆¹、水端 稔¹、中西 英俊¹、川山 巌²、斗内 政吉²、白澤 勝彦³、望月 敏光³、高遠 秀尚³ (1.SCREEN、2.阪大レーザー研、3.産総研)

キーワード：テラヘルツ、太陽電池、フェムト秒レーザー

レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡（LTEM）は、フェムト秒レーザーパルスを分析対象に照射し、発生するテラヘルツ波を検出・イメージ化する技術である。我々は単結晶Si太陽電池モジュールのPID現象について、LETM計測の有用性を検証し、2015年の秋季応用物理学会で報告を行った。今回新たに短絡状態でのLTEM計測を行い、エレクトロルミネッセンス(EL)法と比較評価したので報告する。