[19p-H137-1~17] 7.1 X線技術

[19p-H137-9] PF BL-11D の分光器出力に重なる回折格子散乱光

〇羽多野 忠¹、相原 翔学¹、江島 丈雄¹ (1.東北大多元研)

キーワード：分光器、極端紫外線、軟Ｘ線

光学素子評価ビームラインであるPFのBL-11DではC薄膜の透過率測定でK吸収領域に有限のバックグラウンドが観測されており、回折格子の高次光ではない何らかの不純物成分の存在がわかっている。多層膜ミラーおよび回折格子を試料に用いた分光実験の結果、不純物成分は分光器の回折格子で散乱される120–180 eVの極端紫外線であると特定した。