[19p-P12-1~27] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[19p-P12-13] RF-MS法で作製したZnO系透明導電膜における結晶性の基板位置依存性

〇正力 幹也¹、杉浦 怜¹、舩木 修平¹、山田 容士¹ (1.島大総理工)

キーワード：透明導電膜、酸化亜鉛、AZO