[19p-P12-1~27] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

△ [19p-P12-23] スパッタ堆積ZnO薄膜のキャリア生成とO1sスペクトルとの関係

〇(D)張 捷生¹、佐藤 伸吾¹、大村 泰久¹、斉藤 正¹ (1.関西大)

キーワード：ZnO薄膜、XPS測定、酸素スペクトル

本報告では、ノンドープした ZnO薄膜のXPS分析で得られたO1sスペクトルをガウスフィッティングによって分解し、各ピークと薄膜のキャリア濃度の関連を考察した結果を述べる。