[19p-P4-1~17] 13.5 デバイス／集積化技術

[19p-P4-17] パルス光伝導法による酸化膜評価技術の開発

〇長野 聖央¹、清水 公志郎¹、古田 正昭¹、久保田 弘¹、橋新 剛¹、吉岡 昌雄²、宮下 守也³、泉妻 宏治³、前田 貴弘³ (1.熊大院自、2.熊大工、3.GWJ)

キーワード：酸化膜評価