[19p-S224-1~17] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[19p-S224-17] 超音波ナノインプリントにおける脱着可能なモールド固定法

〇銘苅 春隆¹、矢野 隆行² (1.産総研、2.分子研)

キーワード：ナノインプリント、超音波振動、モールド

超音波ナノインプリントに対応した、脱着可能なモールドの固定方法を探索するために、両面テープ・接着剤・ネジ止め・冷やしばめの4種類の固定方法で振動エネルギーの伝達効率を比較した。摩擦熱によるエネルギー損失が少なかったのは接着剤とネジ止めによって固定した場合であったが、レーザードップラー振動計による測定から、ネジ止めによる固定では形状の一部が歪な正弦波が現れ、剛性率の高いネジ材料の影響が見受けられた。