[19p-S322-1~14] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

△ [19p-S322-5] Long-term stability of flow rate control in Multi-gas Trace Moisture Generator

〇MINAMI AMANO¹, HISASHI ABE¹ (1.NMIJ/AIST)

Keywords:humidity,trace moisture,sonic nozzle

複数の半導体材料ガスについて微量水分標準を確立することを目指し、多種ガス用微量水分発生装置を開発した。本研究は、様々な種類の高純度ガスが必要とされる半導体製造工程において、微量水分の測定の信頼性向上に極めて重要である。今回、本装置の最大の肝であるガス流量制御の不確かさを見積もるために、1ヶ月にわたり流量の長期安定性を調べたので、これについて発表する。