[19p-S423-1~17] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[19p-S423-17] 人工知能融合超高速量子分子動力学法の開発と半導体プロセスへの応用

〇稲葉 賢二¹、佐藤 絵美¹、佐藤 愛美¹、小原 幸子¹、石澤 由紀江¹、宮野 正之¹、三浦 隆治¹、ボノー パトリック¹、鈴木 愛¹、宮本 直人¹、畠山 望¹、張山 昌論¹、宮本 明¹ (1.東北大学)

キーワード：量子分子動力学法、第一原理計算、人工知能

当研究室はこれまでに量子分子動力学計算を非常に高速化出来る手法を開発してきた．その手法では第一原理計算を再現できるパラメータを用いているが，モデルの巨大化，複雑化に伴い手動でのパラメータ作成が困難になってきた．そこで人工知能を用い自動でパラメータを作成，どのようなモデルでも量子分子動力学計算が容易に計算出来る手法を検討している．今回はその手法についてSiの酸化反応などを例に報告する．