[19p-W621-1~12] 8.4 プラズマエッチング

[19p-W621-2] 有機膜表面における活性種によるエッチング反応の基板温度依存性

〇福永 裕介¹、堤 隆嘉¹、竹田 圭吾¹、石川 健治¹、近藤 博基¹、関根 誠¹、堀 勝¹ (1.名大院工)

キーワード：基板温度依存、有機膜