[19p-W631-1~8] IoTアプリケーションと、それを支えるキーテクノロジ

[19p-W631-3] ＩｏＴ応用を目指したＭＥＭＳ振動発電素子

〇年吉 洋¹ (1.東大)

キーワード：MEMS、エナジーハーベスタ、エレクトレット

講演者らの研究グループでは、Internet-of-Things 無線ノードの自立電源応用を目標として、平成27年度より振動発電型MEMSエナジーハーベスタに関するNEDO先導研究を実施している。このプロジェクトでは、エレクトレット型静電誘導発電の発生電力を高めるため、シリコン酸化膜中のSiO-準位を用いた高密度のエレクトレットを採用した。また、電源の出力インピーダンスを低減するために、電極間をイオン液体の電気二重層で結合する方式を検討している。今回の講演では、プロジェクト１年目の成果を報告する。