[19p-W834-1~17] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[19p-W834-9] バイオテンプレート極限加工技術を用いたSiナノピラーの作製と熱伝導率の測定

〇菊池 亜紀応^1,3、八尾 章史³、毛利 勇³、寒川 誠二²、小野 崇人¹ (1.東北大院工、2.東北大 流体研、3.セントラル硝子)

キーワード：ﾅﾉﾋﾟﾗｰ