[20a-H103-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

△ [20a-H103-11] 同軸型アークプラズマ堆積法により作製した窒素添加超ナノ微結晶ダイヤモンド/アモルファスカーボン混相膜の微細構造評価

〇(DC)儀間 弘樹¹、アブデルラーマン ゼクリア^1,2、吉武 剛¹ (1.九大、2.アスワン大)

キーワード：超ナノ微結晶ダイヤモンド、同軸型アークプラズマ堆積法