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[20a-H103-3] ホウ素添加ナノ多結晶ダイヤの開発と基礎特性
キーワード：ダイヤモンド、ホウ素添加、ナノ多結晶
ホウ素添加ナノ多結晶ダイヤモンドの合成に成功した。ホウ素添加4000ppm以上で抵抗率は10mΩ・cm以下まで低下し、放電加工によって高精度な3次元形状の微小工具をも作成することが可能である。さらに、ホウ素添加によって摺動特性や耐摩耗性が向上すること、大気中での酸化温度が通常のNPDの700℃に対して900℃まで向上すること、導電性を有するためマイクロトライボプラズマ現象が起こらないことを見出した．