[20a-H112-1~10] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[20a-H112-1] 非晶質Si_xGe_1-x/SiO₂のAu誘起成長に及ぼす圧縮応力の影響

〇草野 欽太¹、工藤 和樹¹、坂井 拓也¹、本山 慎一²、楠田 豊²、古田 真浩²、中 庸行³、沼田 朋子³、高倉 健一郎¹、角田 功¹ (1.熊本高専、2.サムコ、3.堀場製作所)

キーワード：Au誘起成長、SiGe、圧縮応力印加