2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[20a-H112-1~10] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2016年3月20日(日) 09:00 〜 11:30 H112 (本館)

黒澤 昌志(名大)

09:30 〜 09:45

[20a-H112-3] 低温固相成長法によるa-GeSn/絶縁膜構造の高移動度化
-GeSnの膜厚効果-

甲斐 友樹1、松村 亮1,2、佐道 泰造1、宮尾 正信1 (1.九大院システム情報、2.学振特別研究員)

キーワード:半導体