2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

17 ナノカーボン » 17 ナノカーボン(ポスター)

[20a-P4-1~71] 17 ナノカーボン(ポスター)

2016年3月20日(日) 09:30 〜 11:30 P4 (屋内運動場)

09:30 〜 11:30

[20a-P4-2] 新しいLSI配線のための超臨界エタノールを用いたカーボンナノ材料の作製

〇(M1)西川 慶1、本間 匠1、栖原 健太1、宇原 祥夫1、伊藤 勝利1、大竹 勝人1、斉藤 茂1 (1.東理大工)

キーワード:超臨界エタノール、カーボンナノ材料、配線