[20a-S221-1~12] 13.3 絶縁膜技術

[20a-S221-11] Al₂O₃キャップ層によるGeO脱離抑制と電気特性の評価

〇大竹 博義¹ (1.東京農工大・工)

キーワード：Ge、GeO₂、Al₂O₃