[20a-S423-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[20a-S423-4] 静電型MEMSｴﾈﾙｷﾞｰﾊｰﾍﾞｽﾀにおける非線形発振の検討(1)

〇小野 一善¹、ユー アレクサンダー^1,2、佐藤 昇男³、田中 雄次郎¹、阪田 知巳³、神 好人^1,3、小泉 弘¹ (1.NTT先端集積デバイス研究所、2.ジョージア工科大、3.NTT デバイスイノベーションセンタ)

キーワード：energy harvesting

本講演では、ミリメータサイズの静電型エネルギーハーベスタにおける非線形発振の結果について報告する。非線形振動を誘起するため、Au（金）をバネ材料とし、MEMS構造体を作製した。作製したサンプルに対して、AC電圧を印加し、非線形発振が得られることを確認した。