[20a-W321-1~10] 3.7 レーザープロセシング

△ [20a-W321-9] パルス幅依存性から考えられる液中レーザー溶融法サブミクロン球状粒子生成過程

〇榊 祥太¹、越崎 直人¹、池上 浩²、石川 善恵³、辻 剛志⁴ (1.北大院工、2.九大院工、3.産総研、4.島根大院工)

キーワード：球状粒子、液中レーザー溶融法、酸化亜鉛

本研究では、液中レーザー溶融法によるサブミクロン球状粒子の生成にパルス幅が与える影響を評価し、その結果から粒子の生成過程を検討した。パルス幅の異なるナノ秒パルスレーザーを使用した実験によって、パルス幅が大きくなると熱損失が大きくなりサブミクロン球状粒子生成のために必要なエネルギーが大きくなった。理論的な計算より、これはパルス加熱中の冷却損失が原因だと明らかになり、粒子の加熱･冷却過程を推測できた。