[20a-W611-1~12] 16.3 シリコン系太陽電池

[20a-W611-5] n型結晶Si太陽電池のエミッタ形成方法検討

〇西村 邦彦¹、小林 裕美子¹、綿引 達郎¹、時岡 秀忠¹ (1.三菱電機)

キーワード：太陽電池、ボロン、BBr3

デバイスシミュレーションにより、n型結晶Si太陽電池のボロンエミッタの深さプロファイルと開放電圧V_ovの関係を導出した。続いて、BBr₃ソースを用いた熱拡散と追加アニールとの組み合わせによりボロンエミッタ構造を作製し、さらにパッシベーション膜を形成して、V_oc評価を行ったところ、ボロンプロファイルの最適化によるV_ocの改善を確認した。BBr₃を用いた方法で問題となる表面高濃度層は、アニール方法の改善で回避した。