[20a-W810-1~7] 2.3 放射線応用・発生装置・新技術

[20a-W810-1] 数100keV小型イオンマイクロビーム装置で形成されたビーム径の縮小化（Ⅱ）

〇石井 保行¹、大久保 猛¹ (1.原子力機構高崎)

キーワード：イオンマイクロビーム装置

原子力機構では、数100keVの小型イオンマイクロビーム装置を構築し、現在120keVレベルでビーム径1μmの形成を目指して研究開発を行っている。既に、6μmのビーム径を形成したが、ビーム径のさらなる縮小化の方向性を調べるため、本装置のイオン源内のアノードと引き出し電極の距離を従来よりも短くしてビームを形成した。この結果3μｍのビーム径を形成し、径縮小化の方向性を示せた。