[20p-H103-1~21] 6.2 カーボン系薄膜

△ [20p-H103-12] フッ素化DLC薄膜表面への軟X線照射による機能性変化

〇(M1C)高松 大樹^1,2、新部 正人^1,2、神田 一浩^1,2 (1.兵庫県大工、2.高度研)

キーワード：フッ素化DLC、low-K、接触角

フッ素含有DLC(以後F-DLC)薄膜は、低表面自由エネルギーや生体親和性を示し、人工血管や金型の離型剤、光学機器等の防汚用コーティングとして応用されている。また、低誘電率を有することも知られており、low-K材料としての応用も期待されている。本研究では、F-DLC薄膜の航空宇宙産業や電子デバイス等での利用拡大を目的とし、F-DLC薄膜への軟X線の照射による機能性変化を明らかにした。