[20p-H103-1~21] 6.2 カーボン系薄膜

△ [20p-H103-14] 水溶性犠牲層溶解法で作製した自立スーパーDLC薄膜へのレーザ照射

〇針谷 達¹、宮本 優¹、山野 将史¹、須田 善行¹、滝川 浩史¹、河野 剛士¹、神谷 雅男²、瀧 真³、長谷川 祐史³、辻 信広³、西内 満美子⁴、榊 泰直⁴、近藤 公伯⁴、金子 智⁵ (1.豊橋技科大、2.伊藤光学、3.オンワード技研、4.原子力機構、5.神奈川産技センター)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、レーザー、薄膜ターゲット