[20p-H112-1~12] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

△ [20p-H112-5] 選択的イオン注入法で作製した一軸性歪Geの異方性応力評価

〇山本 章太郎¹、武内 一真¹、小瀬村 大亮¹、此島 詩織²、澤野 憲太郎²、小椋 厚志¹ (1.明治大理工、2.都市大総研)

キーワード：歪、ゲルマニウム、イオン注入