[20p-H112-1~12] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[20p-H112-7] X線マイクロ回折による高Ge組成SiGe／組成傾斜層の結晶性断層マッピング解析

〇志田 和己¹、竹内 正太郎¹、今井 康彦²、木村 滋²、酒井 朗¹ (1.阪大院基礎工、2.JASRI/SPring-8)

キーワード：SiGe、X線マイクロ回折、組成傾斜層