[20p-H112-1~12] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[20p-H112-9] 固相成長により単結晶Si基板上に結晶SiGe薄膜のエピタキシャル成長に関する検討

〇(M1)ハムド アラー¹、黒岩 杏太¹、金子 哲也¹、磯村 雅夫¹ (1.東海大院工)

キーワード：エピタキシャル成長、SiGe、Si基板