[20p-H137-1~15] 7.5 イオンビーム一般

[20p-H137-11] イオン液体EMIM-DCAイオンビームの表面処理応用に関する検討

〇竹内 光明¹、星出 優輝¹、竹内 裕人¹、龍頭 啓充¹、高岡 義寛¹ (1.京大院工)

キーワード：窒化炭素、低損傷、メタルフリー

RBS/Cの結果から, 加速電圧4kV, 照射量 1 × 10¹⁵ ions/cm² においては DCA− イオン照射はGa⁺ に比べ NDAが約50%低いことがわかった. またラマン分光スペクトルから, 作製した薄膜はいずれもG バンド, D バンドが観測されており, DLC 薄膜と同様のアモルファス構造を有すると考えられる. 加速電圧 0.1 kV, 基板温度 300 C^◦で最もGバンドの強度が高くなっており, この薄膜ではグラファイ ト同様の層状構造がより多く含まれていると推察される.