[20p-H137-1~15] 7.5 イオンビーム一般

[20p-H137-5] 飛行時間型質量分析計に搭載した真空型帯電液滴ビーム銃による二次イオンの測定

〇二宮 啓¹、境 悠治²、十河 真生³、宮山 卓也³、坂井 大輔³、渡邉 勝己³、チェン リーチュイン¹、平岡 賢三² (1.山梨大総合、2.山梨大クリーン、3.アルバック・ファイ)

キーワード：クラスターイオンビーム、エレクトロスプレー、二次イオン質量分析

我々はこれまで帯電液滴ビームの輝度やビーム径を改善するため、通常は大気圧下で行う水溶液のエレクトロスプレーを真空下で行い、それをイオンビームのソースとして利用するための技術開発を行ってきた。今回は試作した真空型帯電液滴ビーム銃を飛行時間型二次イオン質量分析計に設置し、実際に二次イオン測定を行ってどの程度二次イオンの生成効率を向上できるかについて評価する。