[20p-P13-1~14] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[20p-P13-9] スパッタリング法で作製したβ-FeSi₂多結晶薄膜内の不純物濃度分析

〇服部 哲¹、東 貴彦¹、池田 修哉²、扇 和也²、寺井 慶和^1,2 (1.鹿児島大理工、2.九工大情報工)

キーワード：シリサイド