[20p-P4-1~19] 3.11 フォトニック構造・現象

△ [20p-P4-19] 複数層一括融着による3次元フォトニック結晶作製の検討(II)

〇北野 圭輔^1,2、石崎 賢司¹、権平 皓^1,2、野田 進¹ (1.京大院工、2.学振特別研究員)

キーワード：フォトニック結晶、3次元フォトニック結晶

我々は，2次元パターンを形成した層をウエハ融着法を用いて順次積層する手法によりストライプ積層型3次元フォトニック結晶を実現してきた．このような3次元構造において，より多層の構造を簡便に形成する手法として，大面積基板を用いた複数層の一括融着による作製法についてもこれまで検討してきた．今回，このような大面積基板の融着における位置合わせ精度について詳細に検討を行ったので報告する．