[20p-P5-1~13] 3.14 光制御デバイス・光ファイバー

[20p-P5-7] 厚膜レジストSU-8を用いたスポットサイズコンバータ

〇千日 拓馬¹、中島 悠人¹、雨宮 嘉照¹、田部井 哲夫¹、横山 新¹ (1.広大ナノデバイス)

キーワード：スポットサイズコンバータ

Siフォトニクスにおいて光入出力用の光ファイバーとSi光導波路の間の結合損失を軽減するスポットサイズコンバータ(SSC)の研究が行われている。一方で、3μmと厚いSiONとSi導波路を高い選択比でドライエッチングすることは難しい。そこで、容易に厚膜が形成できるレジストSU-8を中間屈折率クラッドに用いたSSCを作製、評価を行った。