[20p-S221-1~17] 13.3 絶縁膜技術

[20p-S221-9] ZrO2/Si構造における界面層作製手法の検討

〇杉野 優介¹、岩崎 好孝¹、上野 智雄¹ (1.農工大院工)

キーワード：ジルコニア